2 實驗結(jié)果及分析2．1 等離子體炬長度與功率的關(guān)系 2種進氣方式均在電壓60V，電流為0．4A，功率為24W 條件下開始起弧放電。在氣體流量為15L／min時放電功率和弧長的關(guān)系曲線見圖3 圖3表明2種進單體方式等離子體炬長度都隨放電功率增加而增大，且增大幅度相近，沒有顯著差別。在起始階段，弧長隨放電功率的增大迅速增大，但當放電功率增大到40W時，繼續(xù)增大放電功率等離子體炬長度增長趨緩。2．2 等離子體炬長度與進氣量的關(guān)系 在功率為55W 時，以進氣量為變量，觀察等離子體炬長度的變化情況，見圖4。 對單體直接輸入到等離子體反應區(qū)方式，等離子體炬隨進氣量的增大而增長，且存在～個最高點，后隨進氣量的增大弧長減d＼。對單體輸入到等離子體下游區(qū)的進氣方式，在氣流量較小時，等離子體炬長度就達到最大值，發(fā)生絲狀放電，隨流量增大，弧長反而變短，但等離子體炬變粗。這說明放電由帶有絲狀的電弧放電轉(zhuǎn)變?yōu)榫鶆虻幕」夥烹姟?nbsp; 等離子體區(qū)下游進樣放電，等離子體炬直接達到最大，這可能是由于氣體分流，由空心內(nèi)電極流出的氣體稀釋了放電區(qū)流出的離子,從而在低流量下起輝較晚.2.3 電極的電壓與電流關(guān)系曲線 2種進樣方式放電的電流電壓曲線見圖5.放電曲線近似成典型的介質(zhì)放電具有的線性關(guān)系,由于介質(zhì)的存在,避免了單體在被解離后不會因為電場的存在而吸附在電極上,從而不能到達基材表面.(待續(xù))
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